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產品名稱：

金剛石MPCVD系統

產品概述

微波等離子金剛石MPCVD系統具有高度可重復的真空完整性設計，能夠在接近大氣壓范圍內運行，用于高沉積速率的單晶化學氣相沉積工藝。它還可以合成高純度的高均勻性和大面積的單晶和多晶。


產品詳細
微波和腔體系統
1.下入式微波饋入系統
2. 鋁制碟形腔設計
3.*大功率10kW
4.鉬生長臺直徑80mm,10x10晶種可以放24-28片
 測溫以及控制系統
1. 雙色紅外測溫儀
2. 電機控制可升降生長臺
3. PLC控制系統和電腦終端控制軟件

4. 全自動操作軟件

真空以及氣路系統
1. 4路流量計
1.1氫氣：1000sccm
1.2 甲烷200sccm
1.3輔助氣體流量計1：20sccm
1.4輔助氣體流量計2：10sccm
2. 2路流量計預留
3. 工作壓力：15-300Torr

4.真空漏率：<1x10-10Pam3/sec

連續工作時間：可達700小時