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產品名稱：

Auto306

產品概述

Auto306真空鍍膜系統能選配多種真空系統、真空腔室、蒸發鍍膜附件，可滿足研發實驗室的各種需求。用戶可選擇單個熱阻源，或多個蒸鍍源，使得在不破壞真空環境的情況下進行多層膜的沉積。一系列的樣品夾具、遮擋板、基板加熱器、膜厚監測和控制可選擇裝配在Auto306上，以滿足不同實驗應用。


產品詳細
品牌概述
HHV Ltd 成立于1960年,隸屬于印度班加羅爾HHV Pvt., 是一家歷史*悠久的薄膜和真空技術公司. 該公司擁有眾多研究所,大學院校及工業生產客戶。近年來,HHV Pvt成為Edwards的制造商,生產如Auto306, Auto500 和TF600 等現代薄膜沉積系統。.
 
應用領域
Auto306用于研究與開發
Auto能選配多種真空系統、真空腔室、蒸發鍍膜附件，可滿足研發實驗室的各種需求。用戶可選擇單個熱阻源，或多個蒸鍍源，使得在不破壞真空環境的情況下進行多層膜的沉積。一系列的樣品夾具、遮擋板、基板加熱器、膜厚監測和控制可選擇裝配在Auto306上，以滿足不同實驗應用。
模塊化的系統結構設計使得用戶可在后期增加額外的工藝附件以強化Auto306的功能。 
Auto306應用于電子顯微鏡
Auto306可選用一系列的工藝腔室、工藝附件、真空系統，為電子顯微鏡用戶提供相關的樣品制備技術滿足*先進的透射電子顯微鏡和掃描電子顯微鏡的需要。
 
產品特點
Auto306可選擇配置鐘罩式玻璃腔室、圓柱形玻璃腔室，也可以配置通用的FL400前開門式不銹鋼箱式腔室。FL400腔室具有額外的高度與寬度，適用于安裝較多的工藝附件。
客戶可選擇的模塊化工藝附件，包括熱阻蒸發源及其控制電源、3kW EB3電子束蒸發源、遮擋板、基片夾具以及膜厚監控儀等。
真空系統由觸屏PLC控制和監控，易于操作；高真空泵選擇包括擴散泵、渦輪分子泵、冷凝泵，并使用油封或干式泵作為支持泵。集成的具有備用電池的高真空閥門可在意外情況時保護泵和樣品。
特點和優勢
觸屏PLC自動控制真空系統
多種可選薄膜沉積源和電源
多種可選樣品夾具
多種可選真空腔室
智能高真空閥門保護泵及樣品
緊湊型設計，*小化空間占用
無需壓縮空氣
完整的**使用互鎖保護
 
技術參數
極限真空
600 l/s 擴散泵：2×10E-7 mbar
500 l/s 渦輪泵：2×10E-7 mbar
255 l/s 渦輪泵：5×10E-7 mbar 
抽真空時間
大氣壓到1×10E-5 mbar：4分鐘
大氣壓到1×10E-6 mbar：25分鐘 
水冷機： 75l/h 15-20℃
液氮容積：1.4L
Auto306真空鍍膜系統中國代理創世杰科技有限公司
 
 網址: http://www.micropowergroup.com
 郵件:bowenzhang@micropowergroup.com