Auto500GB真空鍍膜系統設計集成于手套箱內. 系統安裝了特殊的腔體,前置開門可在手套箱內取放產品,后置鉸鏈門用于設備維修.蒸發源帶溫度控制,可用于有機材料的沉積
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品牌概述
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HHV Ltd 成立于1960年,隸屬于印度班加羅爾HHV Pvt., 是一家歷史*悠久的薄膜和真空技術公司. 該公司擁有眾多研究所,大學院校及工業生產客戶。近年來,HHV Pvt成為Edwards的制造商,生產如Auto306, Auto500 和TF600 等現代薄膜沉積系統。.
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 應用領域
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Auto500GB真空鍍膜系統 用于DC和RF濺射
Auto500GB真空鍍膜系統可被裝配為研究型濺射系統,設備可安裝*多3個濺射源同時允許用戶選擇DC和RF電源。工藝氣體和工裝夾具可選為工藝提供了*大便利.
Auto500GB多工藝應用
Auto500GB 可適應多種應用. FL500大型腔室可容納EB3電子束蒸發源,濺射源和熱阻蒸發源,使用戶在不破壞真空的環境下運用不同的技術進行多次膜沉積. 系統還可提供輝光放電清洗和基板加熱以及膜厚監測和控制.
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產品特點
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HHV Auto500GB沉積系統集成于手套箱內
Auto500GB設計集成于手套箱內. 系統安裝了特殊的腔體,前置開門可在手套箱內取放產品,后置鉸鏈門用于設備維修.
蒸發源帶溫度控制,可用于有機材料的沉積
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技術參數
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真空系統
600l/s 擴散泵
500l/s 渦輪分子泵
450l/s 干泵和渦輪分子泵
1500l/s 冷凝泵
14.3m3/h 油封旋片泵和液氮冷井.
觸屏式PLC 真空系統控制
自動高真空工藝閥門保護
完善的**互鎖
Auto500 CE認證
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網址: http://www.micropowergroup.com
郵件:bowenzhang@micropowergroup.com